SENTECH verfügt über mehr als dreißig Jahre Erfahrung in der Entwicklung, Herstellung und weltweiten Vermarktung innovativer Investitionsgüter für die Bereiche Forschung und Entwicklung sowie industrielle Produktion. Unsere robusten Systeme konzentrieren sich auf das Ätzen, die Abscheidung und die Charakterisierung von Dünnschichten in der Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Photovoltaik, Nanotechnologie und Materialforschung.
Die flexiblen und zuverlässigen Plasmaätz- und Beschichtungssysteme von SENTECH, einschließlich der Anlagen für die Atomlagenabscheidung, unterstützen modernste Prozesse und Anwendungen. Unsere Werkzeuge und Systeme werden weltweit für Anwendungen in den Bereichen Nanotechnologie, Mikro-Optik, Sensorik, Photonik und Optoelektronik in Forschung und Industrie eingesetzt. Schadensarmes Ätzen und Beschichten mit der proprietären SENTECH PTSA ICP-Quelle ermöglicht unseren Kunden die Herstellung von Verbindungshalbleitern und Halbleiterbauelementen mit herausragender Empfindlichkeit, Skalierbarkeit und zerstörungsfreien Eigenschaften.
SENTECH bietet eine breite Palette von spektroskopischen Ellipsometern, Laserellipsometern und Reflektometern für die Messung der Dicke und der optischen Konstanten von sehr dünnen Schichten oder Schichtstapeln. Besondere Erfolge erzielt SENTECH im Bereich der industriellen Qualitätskontrolle, zum Beispiel in der Photovoltaik, bei 5G-Geräten und in der Sensorik. Hier werden vollautomatische Messgeräte mit Kassettenbestückung eingesetzt.
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